磐一（西安）裝備技術有限公司專業設計的電子束區域熔煉設備由爐體部分、夾料部分、真空系統部分、電子槍部分、高壓電源部分、自動控制系統、水冷系統等組成。要求整體結構緊湊，布局合理，維修維護方便。
（1）爐體部分：爐體為立式結構，包括304L不銹鋼爐體、不銹鋼爐門、碳鋼架體等配件。
（2）溫度控制系統：加熱部分、測溫控溫儀表等。
（3）電子槍：電子槍有三塊聚束極和一塊紫銅底板以及燈絲和相關高壓絕緣件組成。
（4）真空與氣氛控制系統：真空泵、真空測量裝置、管道、閥門、接口等。管道、閥門一律采用不銹鋼或更優質材質。
（5）電子槍移動系統：電子槍移動系統應帶有水冷系統，由不銹鋼制造，伺服電動缸進行傳動。
（6）集成控制系統：可將爐體、真空系統、溫控系統等相關儀表的控制集成到控制臺）。
（7）冷卻水循環系統：工藝冷卻水循環管道、閥門均采用不銹鋼或更優材質，以確保水質穩定。
（8）安全連鎖裝置與預警系統：冷卻水和氣氛控制中超壓和冷卻能力不足時，有安全連鎖和必要預警。
電子束區域熔煉
區域熔煉設備是將提純的材料制成細棒，通過電子束加熱，使一小段固體熔融成液態，熔融區域液相溫度僅比固態材料的熔點高幾度，稍加冷卻就會析出固相。熔融區沿著軸向緩慢移動，雜質也隨著移動，最后富集于棒的端部。精煉時間通常為多個小時，在試棒進行區域熔煉之后，將端部雜質含量高的部分切除，再進行第二次、第H次提純處理，達到提純目的。運用區域熔煉，不僅可以將雜質均勻的滲透到晶體中去，而且在這一過程中，位錯結構缺陷、夾雜物等可以得到有效控制，甚至被消除。用區熔堆積法可以制備單晶。
成功案例：某科研研究單位
電子束區域熔煉參數：
電 源 | AC380V | |
使用溫度 | 3500℃ | |
加熱方式 | 電子束 | 環形電子束槍 |
測溫方式 | 紅外測溫 | |
真空系統設備 | 進口分子泵口徑暫定為250mm，抽速大于2400L/s | |
冷態極限真空度 | 6.67×10-4Pa | |
泄漏率 | ≤5×10-5Pa?m3/s | |
棒材升降行程 | 600mm | |
主爐室形狀 | 圓柱狀或橢圓 | |
區熔桿轉速 | 1～50r/min | |
電機運動精度 | 0.02mm/s | |
額定輸出電壓 | 0 kV -30kV | 主高壓 |
額定輸出電流 | 2.5A | |
額定輸入電壓 | 0-30V | 燈絲電壓 |
額定輸入電流 | 100A | 燈絲電流 |
金屬棒料 | （Φ8-Φ15）×300mm | |
在高真空下可對難熔金屬（鎢、鉭、鉬、鈮、鉿、釩)進行單晶提純 | ||
